[讨论]宽光谱监控:<p>最近对宽光谱监控很感兴趣,但网上总是找不到较好的资料。我主要想了解在实际使用过程中,控制要点在哪些方面?如何较好地进行人为干预,如能提供一些资料或思路,不胜感激!</p><p>前两天无法上传文件,今天上传2篇,共享~宽光谱膜厚监控仪的研制;lt;</p>
[此贴子已经被作者于2006-9-6 20:34:28编辑过]
<p>基于宽光谱监控的光学薄膜自动控制技术</p><p><br/>
<p>以上几篇比较,张诚同学的研究较为深入一些,至少说的较多一些。早先还有其他研究单位进行过宽带监控研究。<br/>但是,光学系统的稳定性,CCD方面光学,电子学等原因恐怕还是很难跨越的坎。尤其是后者相对于目前技术而言影响更多一些。 <br/>而这几篇文章中都避而不谈,是怕别人学到真经?<br/>明显,有的结论给出的参数仅是最佳状态下的,难以服人。<br/>另外,要想光学监控发挥最大效能,镀膜机的真空,温度,电子枪,离子源等关键因素的稳定性与重复性也是必不可少的。这点恐怕是目前国内研究单位(国产设备)自身难以达到的(进口设备,谁有空给你搞监控玩,呵呵)。</p><p>如果楼主真有兴趣,可以去找张诚等同学的相关论文(硕士博士论文),应该会有更深入的东西。</p>
那些都是骗人的 Leybold做得不错~~~~~~~~~~~~~~~~
<p>说骗人,未免有些偏吧。国内还是做了不少研究工作的。如果镀膜机其他方面再好一点的话,结果肯定会不一样的。</p><p>一些研究不更深入,浅尝辄止。从零做,后期没有进一步提高,学生毕业走人,做到后来都是零。</p><p>在国内搞光学监控,光学知识只占一小部分,你需要更多的是机械,电子,软硬件方面的知识。学生阶段哪有这么全面的人才,孤军奋战能有那样的成果已经难得了。</p>
<p>如果楼主真有兴趣,可以去找张诚等同学的相关论文(硕士博士论文),应该会有更深入的东西。</p><p>Thank you very much</p><p>继续上传:薄膜厚度宽带监控中评价函数的修正;;</p>
[B]以下是引用[I]wazxq[/I]在2006-8-30 10:42:00的发言:[/B]<br>那些都是骗人的 Leybold做得不错~~~~~~~~~~~~~~~~
斑竹,你那里有没有一些更深入的资料啊?有的话,我先谢过了,^_^
<p>1, 现在的软件都考虑了 色散 + 吸收了吧。 文章的前提没有了。<br/>2, 书上的公式不要抄那么多吧,特征矩阵就行了。3, 单层都有那么大的误差(10%), 还指望厚度监控误差达到10-3,还以下?数据呢?<br/></p><p>结论:<br/>后两篇相同内容文章驳回!<br/></p>
<p>是啊,很多论文只能看看思路,呵呵~</p><p>可惜弄不到宽光谱监控设备的manual,-_-!!!</p>
<p>单层测量整体偏差大,可能原因还有,测量前后光路偏差;暗噪声变化;监控厚度不对 等等。<br/>只归结为色散和吸收恐怕说不过去吧(仅为了发文章?不发也罢,实在是误导,不知怎么审稿的)。</p><p>如果采用间接监控,宽光谱宣称的直接看到光谱这个最大优势将不复存在(监控片的光谱与样品片的光谱不是一回事,这中间的关系还不只一个tooling问题)。<br/>光路偏差导致测量结果偏差,而宽光谱恰恰需要绝对透过率(反射率)作为监控对象,它的评价函数到底怎么在走? 如何选定加权?<br/>不同膜系还是需要仔细考量的,而把这个问题交给用户摸索是不负责任的。</p><p>综合前言,我以为,国产机器上宽光谱监控目前还看不到前途(没有刺激到某些人吧,呵呵)。</p>
<p><font size="2"><font color="#ff3300">监控片的光谱与样品片的光谱不是一回事,这中间的关系还不只一个tooling问题。</font><br/>在某些设备上,应该可以解决这个问题。</font></p><font size="2"></font><p><br/><font size="2"><font color="#f73809">光路偏差导致测量结果偏差,而宽光谱恰恰需要绝对透过率(反射率)作为监控对象,它的评价函数到底怎么在走? 如何选定加权?</font><br/>在镀制a层中,系统将测量的结果通过函数进行评价,当接近膜层理论厚度时,评价出一个最小值来做为中止镀膜点。接着换材料镀制(a+1)膜层,由于是光控,膜层会进行补偿,(<font color="#3300ff">问题一:补偿后产生的结果如何评价?</font><font color="#000000">),</font>然后在接近理论厚度时,又找寻最小点进行中止。<br/>当然,评价波长点应该是预先设定的,如何选择这些点,可能是先通过计算膜系模拟镀制过程进行预先选定,然后在实际镀制过程中进行下一步的选点优化(<font color="#3809f7">问题二:一般来说,我们是对敏感波段加密选点吗?对选定的点怎么判断加权重呢?</font><font color="#000000">)。</font></font></p><p><font size="2">唉,哪位老兄有宽光谱监控系统的手册啊?</font></p><p><font size="2"></font></p><p><font size="2"><br/></font></p>
<p><font size="2">监控片的光谱与样品片的光谱不是一回事,这中间的关系还不只一个tooling问题。<br/><font color="#ff3300">在某些设备上,应该可以解决这个问题。<br/></font>这些问题基本很难。即使进口机台也没有听说过哪家可以解决这个问题。<br/>如果解决了这些问题,就没有必要用宽光谱了,因为用一个波长反推整个膜系即可,这也正是单波长监控的出发点。</font></p><p><font size="2"><font color="#ff6600">在镀制a层中,系统将测量的结果通过函数进行评价,当接近膜层理论厚度时,评价出一个最小值来做为中止镀膜点。接着换材料镀制(a+1)膜层,由于是光控,膜层会进行补偿</font>.</font></p><p><font size="2">有了偏差后的评价函数走向会发生变化。不同膜系,这个变化方向是不一样的。<br/>光控的补偿只有单波长极值法中才有理论依据。<br/>宽光谱中的所谓补偿是一厢情愿的,尤其是间接监控中,这样的补偿有些情况下会使得问题更糟。后面层的补偿会变得越来越奇怪。<br/>于是有了多监控片进行截断误差的方法,但这却违背了宽光谱监控的本意。</font></p><p><font size="2">研究型单位,带个把学生玩玩可以。 生产型单位,再等等吧,目前完善到可以取代单波长监控的宽光谱监控还没出来。</font></p>
我公司有宽光谱监控系统设备,是和北京理工大学合作开发的,现在已经有8年的生产销售了,现在已有30多台设备在使用,使用效果反馈良好,张诚就是在我公司完成的博士论文,设备也得到了进一步的完善,如大家有兴趣,可以联系我,<a href="mailto:e-mail:xlli@goldway.com.cn,tel:010-58051723,13693572892">e-mail:xlli@goldway.com.cn,tel:010-58051723,13693572892</a>
我公司有宽光谱监控系统设备,是和北京理工大学合作开发的,现在已经有8年的生产销售了,现在已有30多台设备在使用,使用效果反馈良好,张诚就是在我公司完成的博士论文,设备也得到了进一步的完善,如大家有兴趣,可以联系我,<a href="mailto:e-mail:xlli@goldway.com.cn,tel:010-58051723,13693572892">e-mail:xlli@goldway.com.cn,tel:010-58051723,13693572892</a>