本帖最后由 fasces9 于 2011-7-30 08:47 编辑
我司用3台光驰机 GENER-1300 做IRcut 镀出来的产品呈淡黄色,严重是偏红色,有时好有时差,抓狂中。
试过很多方法了,氧气加了10sccm没有效果,光斑调整(担心打到铜上溅射上去)也没效果,温度250降到240和225也没效果(而且变得更糟糕),总体来说一段时间好一段时间颜色不正常。那位大侠有办法解决?期待中
目前测试:OS50氧气流量增加,颜色稍微变淡,OS50氧气流量减少,颜色变得更红。
温度增加10度,产品颜色变淡了,温度降低,产品颜色变得更红。
更换OS50底料,无明显效果。更换SIO2(不同材质),也无明显效果。更换OS50(不同材质),也无明显效果。
调整SiO2光斑使之变大,5圈颜色变淡,与第1圈接近,但还都是很红。
filmokay 发表于 2011-7-16 15:27 
光谱正常吗?是污渍还是光谱偏移了啊
光谱正常,可以确定不是污渍,试着镀过不同中心波长的IRcut 也不是曲线漂移的问题。
carpty 发表于 2011-7-18 22:31 
更换一下tio2的膜料试试,坩埚里面全部换新的
坩埚试过更换新的tio2膜料,结果还是不行,SiO2和Tio2换别的公司试了下也是不行,温度调高10度,结果是好一点,但是膜划百格很脆,盐水试验后容易脱膜。
wazxq 发表于 2011-7-23 10:16 
贴出发黄的光谱看看?
这是发黄的光谱图,发黄与以前不发黄的片子等我拍照了就发给你
sery1234 发表于 2011-7-23 10:34 
400-700这段透过率 可能有半波孔吧,
400-700挺正常的,我也试过把中心波长镀短(640)或者高点(655),前面的中心波长由380nm升到390nm ,400nm,结果还是不行,带离子源的比如(新科隆 莱宝机)都没事
xiazg 发表于 2011-7-25 08:25 
建议更换 晶振片 试一下 看看 是不是 监控 的原因 需要的话 可以联系我 QQ1046118891
拜托下,发言有点技术含量哦 ,控制片有问题,光谱能做那么好么 不过你没看光谱哈
这个可能和你机器内部的某些小细节有关系了
首先 光谱没有任何问题,这就排除了什么控制片,材料等因素,
二 你其他机台做出来没问题 ,排除是基片产生问题及清洗问题,
那么就剩下设备本身了,你仔细分析下设备状况吧,对你的设备不清楚,不敢妄加评论。
sery1234 发表于 2011-7-25 12:57 
拜托下,发言有点技术含量哦 ,控制片有问题,光谱能做那么好么 不过你没看光谱哈
这个可能和你机器内部 ...
也不能全怪人家 他做销售晶振片的 呵呵 一般清机后1-5炉很少出现问题,经常出现的是6炉以后,而且是一段时间好一点,一段时间差一点,就这3台机子出毛病,具有很大的随机性,尝试把温度加了10度,同时氧气sio2和tio2都增加5sccm,结果。。。
颜色比前一炉淡一点,但是盐水试验后膜脆,易脱膜。
fql3310 发表于 2011-7-25 13:40 
你IR-CUT怎么在1100波长处透过率不行?你氧有充多了吧!
没感觉充多啊,才80sccm,我尝试降到70sccm试试看
严重时偏红色? 650 应该是红色啊?怎么能交严重啊?费解
fasces9 发表于 2011-7-26 09:49 
也不能全怪人家 他做销售晶振片的 呵呵 一般清机后1-5炉很少出现问题,经常出现的是6炉以后,而且是一段 ...
既然你的前5炉没有问题,那么说明是镀膜的过程中某个部件被污染了,放气?
sery1234 发表于 2011-7-28 14:01 
既然你的前5炉没有问题,那么说明是镀膜的过程中某个部件被污染了,放气?
或许我说的不够好,呵呵,小学语文就不及格,前5炉很少出现问题的意思是前5炉情况要好一点,但是最近几个月怎么也镀不出像去年那样透亮的,一直怀疑是钛晶格问题。。。
fasces9 发表于 2011-7-28 15:14 
或许我说的不够好,呵呵,小学语文就不及格,前5炉很少出现问题的意思是前5炉情况要好一点,但是最近几个 ...
呵呵 晶格问题 那就高深了,大哥你是研究生毕业的么,这属于研究生的课程啊 我看了下,脑袋看大了,到现在为止不明白各种晶格与镀膜的那些因素相关