>光学监控膜厚变化一般通过玻璃片进行工作</P>
>如果镀SiO2,其折射率与玻璃片十分接近,其膜厚变化基本不影响反射率</P>
>因此光控无法监控其光学厚度,对吗?</P>
>难道是需要用其他折射率的监控片进行监控吗?</P>
>那如果不预先镀一层其他材料,光控上就看不出来了,是吗?</P>
>那如果不预先镀一层其他材料,光控上就看不出来了,是吗?</P><
>如果不镀预镀层,则整个1/4 SiO2层走值不明显,如果你的光控的信号噪声再大点,根本就无法监控了。</P>
>用反射控制应该</P><
>会好一点的</P>
0cm 0cm 0pt">我经常用SIO2来镀首层,而且是透过式的,还算可以<p></p></P>不过信号变化量的小及速率的不稳定对制程的稳定性确实是个头痛的问题。
>我的供一份资料供大家参考</P>
>光控和晶控原理</P>
>
>大家在采购光控比较片时有没有发生困难?</P><
>现在晶控片已经实现了技术标准的统一。</P><
>但每家镀膜公司对光控比较片的要求差异还有点大</P><
>我很想知道大家各自对光控比较片的技术要求。</P><
>如果每家公司的要求能大致统一,那么我想光控片也会象晶控片一样变成一个通行的商品。</P><
>大伙说说看。</P>
>可以尝试北京欧普特公司设计制造的filmonitor BS矿光谱光学镀膜监控系统。</P><
><a href="http://www.goldway.com.cn" target="_blank" >www.goldway.com.cn</A></P>
>可以用些折射率与SIO2相差较大点的嘛,以前我们公司如果有这样情况的话就用LN做监控片,</P>
感谢分享。。。最近在恶补光控知识。
EriFrd42.pdf (200.6 KB)
5kZNd7Im.pdf (182.91 KB)
QijHzz5D.pdf (254.27 KB)
S2BLE4xv.pdf (158.29 KB)
5NuOTwc1.pdf (237.75 KB)
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