IR CUT 镀膜 求教:IR 镀膜 ,药品 一般 速率要求 多少,目前 没有 使用 离子源 ,使用晶控 分光 外观
控制 都不好 .出现 红点 亮点 (使用 点光源检查 出现(150W) 使用 环形光源 (150w)看不见
,请教 除去 方法 先 感谢 .电子枪 是否 有 影响 ,目前使用 180° 偏转的 .与 270° 的电子枪有差异么 。。机器 韩一 使用 离子源 后 满面 白点, 故没有使用ION/B
理论上270的优于180,具体看使用
你的设置速率是多少了?
没用 离子源,TI3O5 以前 用3.0 ,后改 2.5 的 ,主要 对外观 方面 不能 有 好的对策
用 SCHOTT基板 入 库 直接 洗净,镀膜后 20X 检查 出现 0.02~0.01的 点 ,不良 ;
SCHOTT 基板 出库基准 为 <0.1mm 的点 无视 ,,郁闷 》》》》
速率不快啊,查查磨料吧,,,,,,
离子源 光驰 好 还是 莱宝的好啊
入库是<0.1的点,镀后发现0.01-0.02的点应该是很正常的事,谁知道基板上原来有没点
入库是
zzzz 发表于 2009-5-19 08:49 
他好像是放大了吧!20X
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TA2O5代替TIO2,SIO2环料最好,如果是那就没事了.
电子枪吸附灰尘(应该是很多灰尘的.)请每炉都清洁,具体是用氮气吹后用酒精泡,放于超声波里头超2-5分钟.
180度与270度电子枪当然有差别,270度的电子枪较好.180度的电子枪灯丝暴露在外头.起码易变脏.
哦,忘了说了,有加离子源的镀后满面白点的把离子源拿去吹下下不就可以了?清洗一下就OK的.