真空室镀膜过程监控系统
在镀膜过程中需要对一些重要参数进行监控,如膜层厚度、成分、表面光洁度、光透射率、反射系数、偏振特性等,都可以利用光谱学和双光束干涉的方法进行测量。光纤的使用为监控过程提供了灵活的工具,可以使光方便地进入或导出远方的真空超净室,而且可以同时为膜层分析提供多个几何量的测量选择。膜层的照明和发光的探测可以在相对于膜层的不同光纤位置进行,可以测量镜面反射、漫反射、传输、偏振、干涉、荧光和拉曼散射等。可以利用多根光纤同时监测多个参数,或者在不同的空间位置或掩模条件下同时测量。
用几个适宜结构的光纤探头,就可以在线监测生产的全过程。在一些场合中,可以通过监测离子源(如等离子源)的光谱辐射来确定镀膜过程中的条件效率。
对于大多数此类监测系统来说都需要专门的实验布局,我们可以为您提供最适合您应用的实验布局,这里仅举一个应用系统的例子。
在这里使用一个反射型光纤探头来在线监测镀膜生产过程。光线通过过真空装置进入真空室,然后传到反射探头上。反射光经过另一个过真空装置,进入光谱仪的一个测量通道。反射型探头可以用SMA接头拆下。还可以再增加一个光谱仪通道,用来进行参考测量或补偿光源本身的波动对测量结果的影响。
全球总部
Soerense Zand 4a
NL-6961 LL Eerbeek
The Netherlands, Europe
Tel +31-(0)-313-670170
Fax +31-(0)-313-670179
info@avantes.com
北京爱万提斯科技有限公司
(Avantes 中国分公司 )
地址:北京市朝阳区酒仙桥路12号电子城科技大厦1119房间
邮编:100016
电话:010-84574045,010-84574046
010-84574057
传真:010-84574017
info@avantes.com.cn
北京爱万提斯科技有限公司
深圳办事处
地址:深圳市福田区滨河路8998号趣园16K室
邮编:518048
电话:0755-33339082
Kelvin.jiang@avantes.com.cn
北京爱万提斯科技有限公司
成都办事处
成都市金牛区金仙桥路13号左岸公寓616室
邮编:610031
电话/传真:028-87685608
sam.gou@avantes.com.cn