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Manual_Chinese_RevHTS02.pdf</a></li> <li>·</b> <a href="attachcenter-page.html?aid=1763" title="光电行业关键词英汉对照.pdf">光电行业关键词英汉对照.pdf</a></li> <li>·</b> <a href="attachcenter-page.html?aid=10637" title="hZQOAkKV.rar">hZQOAkKV.rar</a></li> <li>·</b> <a href="attachcenter-page.html?aid=14922" title="Essential Macleod光学薄膜设计.rar">Essential Macleod光学薄膜设计.rar</a></li> <li>·</b> <a href="attachcenter-page.html?aid=87350" title="360截图20150322230209325.jpg">360截图20150322230209325.jpg</a></li> <li>·</b> <a href="attachcenter-page.html?aid=87374" title="A.jpg">A.jpg</a></li> <li>·</b> <a href="attachcenter-page.html?aid=12733" title="光学薄膜技术.part01.rar">光学薄膜技术.part01.rar</a></li> </ul> </div> </div> <div class="bm"> <div class="bm_c" style=" FONT: 11px Verdana"> </div> </div> </div> <div class="showatt_right"> <div class="bm"> <div class="bm_h cl"> <a href="#" class="y xi2 xw1"></a> <h1 class="xs2 icon"><img src="static/image/filetype/pdf.gif" border="0" class="vm" alt="" /> 离子源接线.pdf</h1> </div> <div 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可能还有很多其它类型离子源未被提到。<br /> <br /> 离子源类型虽多，目的却无非在线清洗，改善被镀表面能量分布和调制增加反应气体能量。离子源可以大大改善膜与基体的结合强度，同时膜本身的硬度与耐磨耐蚀特性也会改善。<br /> <br /> 若是镀工具耐磨层，一般厚度较大而对膜厚均匀性要求不高，可采用离子电流较大能级也较高的离子源，如霍尔离子源或阳极层离子源。<br /> <br /> 阳极层离子源，与霍尔离子源原理近似。在一条环形（长方形或圆形）窄缝中施加强磁场，在阳极作用下使工作气体离子化并在射向工件。阳极层离子源可以做得很大很长，特别适合镀大工件，如建筑玻璃。阳极层离子源离子电流也较大。但其离子流较发散，且能级分布太宽。一般适用于大型工件，玻璃，磨损，装饰工件。但应用于高级光学镀膜并不太多。<br /> <br /> 考夫曼离子源是应用较早的离子源。属于栅格式离子源。首先由阴极在离子源内腔产生等离子体，让后由两层或三层阳极栅格将离子从等离子腔体中抽取出来。这种离子源产生的离子方向性强，离子能量带宽集中，可广泛应用于真空镀膜中。缺点是阴极（往往是钨丝）在反应气体中很快就烧掉了，另外就是离子流量有极限，对需要大离子流量的用户可能不适和。<br /> <br /> 霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强，霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝（阴极）。霍尔离子源的特点是：<br /> <br /> 1简单耐用。<br /> 2离子电流与气体流量几乎成比例，可获得较大离子电流。<br /> 3钨丝一般横跨在出口，收离子束冲击很快会销蚀，尤其对反应气体，一般十几个小时就需更换。并且钨丝还会有一定的污染。<br /> <br /> 为解决钨丝的缺点。有采用较长寿中和器的，如一个小的空心阴极源。<br /> <br /> 霍尔离子源可以说是应用最广泛的离子源。高级的如Veece的Mark I 和 Mark II 离子源。适用的如国产的大部分离子源。<br /> <br /> 如果镀耐磨装饰膜，膜厚大，需要与机体结合力强，而均匀性要求不高。可用霍尔离子源。其离子电流大，且离子能级也高。如果是镀光学膜，则主要要求离子电流能级集中，离子电流均匀性好。故最好用Kaufman或RF离子源，有条件的可采用ECR（电子回旋）或ICP(感应耦合)离子源。另外，也要考虑到耗材，如用钨丝的霍尔源在反应气体中十来个小时就烧断了。而高级离子源如ICP离子源可在反应气体中连续工作几百小时。<br /> <br /> 镀灯具铝膜。因为是金属膜，当然是直流磁控溅射好。速度快。中频适合镀化合物膜。如果选离子源，霍尔离子源就够了。但要注意你的灯具大小。一般霍尔离子源是圆形，离子源覆盖的面积有限。你一定要用离子束将工件全部覆盖到。若普通霍尔离子源太小，可考虑用阳极层离子源。<br /> <br /> 莱宝APS1104光学镀膜机可以说是目前国内镀膜界的王牌。这个镀膜机主要是两台电子蒸发源何一台APS离子源组成。其APS离子源可以说是镀膜机的心脏，其结构十分独特。首先它是Kaufman型离子源，但其阴极不是常用的钨丝，而是昂贵的LaB6材料。另外其磁场不是由永久磁铁产生，而是由电磁线圈产生。<br /> <br /> 从参数来看，其磁场较弱，功率也不大，但其显著特点是在被镀工件上产生的温度低，其各项参数调得使成膜时热力学平衡好，成膜致密。可以说目前国内高档光学镀膜全*莱宝机，尽管其价格远远高于其他镀膜厂家。莱宝APS实在独特，它不用永久磁铁而用电磁铁（电磁铁多要一套真空电路系统）。结构看起来很“苯”。但事实上性能却特别好。莱宝APS镀膜机之所以走俏，APS离子源（或邓离子源）起了很大作用。<br /> <br /> 离子源难起辉的一个原因是磁场太弱激发不起等离子体。离子源的种类虽多，但基本上是先产生等离子体，然后从等离子体中抽出气体离子并加速成离子束，让后视需要注入电子中和离子流。<br /> <br /> 现在国内离子源阴极一般都用钨丝，很简单方便。但需要定期更换。尤其是光学镀膜时用氧气，钨丝一般只能用10个小时左右。另外钨丝烧蚀会污染膜层。</div> <div class="postmsg">好东西,要在较大异形面积上实现较好的均匀性,用哪种源较好?<img src="static/image/smiley/default/em24.gif" smilieid="53" border="0" alt="" /></div> <div class="postmsg">看看 ....</div> <div class="postmsg">常规霍尔离子源和考夫曼离子源较难大面积范围实现均匀性。比较先进的ECR和ICP离子源可以实现。比如先在新一代300毫米芯片蚀刻所用ICP离子源性能就非常优异。但是成本较高，而且目前基本还只能进口。国内暂时还没有适用产业化的ICP与ECR离子源。</div> <div class="postmsg">如果有朋友需要离子源方面资料请留下Email地址，我会发过去。</div> <div class="postmsg">谢谢,给我点资料!<a href="mailto:xlh922@126.com">xlh922@126.com</a></div> <div class="postmsg">楼主你好，<br /> 我目前在做离子源辅助生长薄膜，前一段时间离子源出问题现在离子源很不稳定，<br /> 急需这方面的资料，能给一份吗，万分感谢！！<br /> <a href="mailto:zsigroy@163.com">zsigroy@163.com</a></div> <div class="postmsg">楼上2位，资料已发给你们了，请查收。zsigroy ，你的离子源不稳定具体是什么情况？钨丝大概寿命多长，一般钨丝若寿命太短时，应为其电阻会呈非线性快速增大，这时离子束流会很不稳。另外离子源要经常清洗，一面造成局部短路。</div> <div class="postmsg"><img src="static/image/smiley/default/em27.gif" smilieid="56" border="0" alt="" /> <br /> 谢谢楼主，我们用的是ICP—80A射频离子源，北京东方盖德公司的<br /> <br /> 离子源不稳是指：在气流量80sccm，真空室压强2.0×10-1Pa；<br /> 一方面，在大于200W状态下，离子源起辉，正负偏压均加不上。<br /> 一方面，在小于200W状态下，离子源起辉，负偏压能加上，正偏压在设定值的上下20V左右无规律跳动。<br /> <br /> 我前一段时间一直在解决离子源的问题。栅片以前被镀了厚厚一层膜，我用超声清洗机加酒精清洗过，已经有点干净，但是不能把那层污染膜彻底清洗掉。<br /> <br /> 在安装线路时，由于说明书安装图不是很清楚，导师一直生病住院，我就按照自己理解接上了线路。说明书上的安装图以及我的安装都在附件里，请你查看。</div> <div class="postmsg">我看了一下电路图。接线4接在外壳没有问题。你这是王怡德老师的离子源，最好直接给他打一个电话问问故障排除。离子源刚用的时候是否比这种情况要好些？正如我第一帖所讲，ICP离子源目前还是进口较过关。频率谐波很不好掌握。要么从高频电路上做动态反馈，要么有动态的Matching Network才能保证稳定运行。</div> <div class="postmsg"><img src="static/image/smiley/default/em23.gif" smilieid="52" border="0" alt="" /> <img src="static/image/smiley/default/em23.gif" smilieid="52" border="0" alt="" /> <br /> 嗯，谢谢楼主。<br /> 你讲的专业术语比较高深哦，要加强学习了。。。<br /> 我在网上搜了一下，能听他们团队的讲座就太好了，很遗憾没在北京，也没赶上时间<img src="static/image/smiley/default/em19.gif" smilieid="48" border="0" alt="" /></div> <div class="postmsg"><a href="mailto:legnku@sina.com">legnku@sina.com</a><br /> 谢谢</div> <div class="postmsg">能给我一份吗？我现在很需要 谢谢<br /> <a href="mailto:tian831206.com@163.com">tian831206.com@163.com</a></div> <div class="postmsg">楼上二位，资料已发到你们信箱，请查收！</div> <div class="postmsg">能发一份给我吗,谢谢了啊,<a href="mailto:pjl116110@yahoo.com.cn">pjl116110@yahoo.com.cn</a><br /> 谢谢了啊</div> <div class="postmsg">我们用的霍尔离子源,老是打火是怎么回事,一直没解决好啊,能告诉我吗?<a href="mailto:pjl116110@yahoo.com.cn">pjl116110@yahoo.com.cn</a></div> <div class="postmsg">你好。请您发给我一些关于离子源的资料好吗?<br /> 我的邮箱是:zhaojie585@126.com</div> <div class="postmsg">能告诉我是那一家型号的离子源。打火是在离子源何处？关于打火，一般离子源使用时间一长零部件表面会沉积一层膜，要及时清洗去除沉积膜。</div> <div class="postmsg">Mark II有好几种中和器，除了最常见的钨丝以外，还有空心阴极以及射频中和器。希望有用过的讨论一下特点。</div> <div class="postmsg">楼主能给我传一份麽？谢谢<br /> <a href="mailto:zgmtcm@yahoo.com.cn">zgmtcm@yahoo.com.cn</a><br /> <br /> 我们用的中科院的离子源<br /> 但是镀后的玻璃出现很多的细点子<br /> 清洁了底板和真空室之后试制效果比以前有所改观<br /> 我想请教一下<br /> 除了清洁之外<br /> 还有什么可能的原因呢？</div> <div class="postmsg">据我判断 有可能是离子源的问题...</div> <div class="postmsg"><div class="quote"><blockquote>原帖由 <i>nanovac2</i> 于 2007-10-23 09:36 发表 <a href="http://bbs.oecr.com/redirect.php?goto=findpost&pid=387923&ptid=60434" target="_blank"><img id="aimg_aFyPY" onclick="zoom(this, this.src, 0, 0, 0)" class="zoom" src="static/image/common/back.gif" onmouseover="img_onmouseoverfunc(this)" onload="thumbImg(this)" border="0" alt="" /></a><br /> Mark II有好几种中和器，除了最常见的钨丝以外，还有空心阴极以及射频中和器。希望有用过的讨论一下特点。 </blockquote></div><br /> <br /> 我這裡用的是Mark II+Ho的,即空心陰極的離子源,VEECO的,但是陽極能量以前用的是160V,5A,有時候用到160V,7A,但是現在隻能用到120V,4A,如果能量再往高調整的話,離子源就打不起來,各位知道這是什麼問題,該如何來解決?</div> <div class="postmsg">楼主也给我传一份吧<br /> <a href="mailto:lb_allwishes@yahoo.com.cn">lb_allwishes@yahoo.com.cn</a><br /> 谢谢！</div> <div class="postmsg">给我一份吧！多谢楼主了啊！<img src="static/image/smiley/default/em31.gif" smilieid="60" border="0" alt="" /><br /> <a href="mailto:zf_shen@163.net">zf_shen@163.net</a></div> <div class="postmsg">楼主能给我发以下两种离子源的资料啊? <a href="mailto:zgn812@21cn.com">zgn812@21cn.com</a><br /> <br /> VEECO Mark II 空心陰極的離子源和Leybold APS 1104<br /> <br /> <br /> 不胜感激!!!!!!!</div> <div class="postmsg">谢谢以上各位，最近出差未及回复，现已将资料已发给大家了。</div> <div class="postmsg">guanyu3144，<br /> <br /> 出现细点子主要还是清洁问题。注意工件表面的清洁，真空室也应该定期清洁维护。</div> <div class="postmsg">guangang ，<br /> <br /> 你的问题可能是离子源开始积垢，锥形阳极表面，分流盘，以及各陶瓷件注意一下，看是否有膜材料沉积，若有，要清洁去处，如抛沙除垢，若无条件可用细目砂纸打磨掉。</div> <div class="postmsg">正在运用离子源辅助镀膜,请楼主给点资料.谢了! EMAIL:XI001693@SINA.COM</div> <div class="postmsg">zhaoyagang ,<br /> <br /> 资料发给你了。</div> <div class="postmsg">离子源拆下来清洗，很经常再按上去就不好使</div> <div class="postmsg">我也是刚开始使用离子源镀膜，向楼主讨些相关的资料，EMAIL:flytiger.1111@163.com</div> <div class="postmsg">给楼主发了一封邮件，先在这里谢谢了<img src="static/image/smiley/default/em20.gif" smilieid="49" border="0" alt="" /></div> <div class="postmsg">楼主,我也需要,能给我发一份吗?谢了,我的邮箱是<a href="http://www.leilei1987622.com" target="_blank">www.leilei1987622.com</a></div> <div class="postmsg">给我发一份好吗?谢了我的邮箱是<a href="http://www.leilei1987622@163.com" target="_blank">www.leilei1987622@163.com</a></div> <div class="postmsg">以上各位，资料已发到你们信箱，请注意查收。</div> <div class="postmsg">真是好人啊,谢谢您为光学行业作的贡献<img src="static/image/smiley/default/em17.gif" smilieid="46" border="0" alt="" /> <img src="static/image/smiley/default/em49.gif" smilieid="78" border="0" alt="" /></div> <div class="postmsg">谢谢，希望大家能互相学习交流，这样才能有所提高！</div> <div class="postmsg">、我也想要，谢谢了<a href="mailto:chunyangge@126.com">chunyangge@126.com</a></div> <div class="postmsg">楼主实在是个大好人，也想要一份<br /> <a href="mailto:ferrylei@126.com">ferrylei@126.com</a><br /> 将会用到，谢谢了。<img src="static/image/smiley/default/em31.gif" smilieid="60" border="0" alt="" /></div> <div class="postmsg">感谢热心人士,我也想要一分.学习学习!!!谢谢了! <a href="mailto:aptclq@hotmail.com">aptclq@hotmail.com</a></div> <div class="postmsg"><a href="mailto:wo07102329zhang@163.com">wo07102329zhang@163.com</a> 谢谢</div> <div class="postmsg"><a href="mailto:yfj800322@126.com">yfj800322@126.com</a>非常感激！！！！！谢谢！！！！！</div> <div class="postmsg">能发一份给我吗,谢谢了啊,<a href="mailto:181600474@qq.com">181600474@qq.com</a></div> <div class="postmsg">楼主，来一份 THANKYOU<br /> <br /> 光想着来一份了，信箱都没有给，ＳＯＲＲＹ<br /> <br /> 呵呵！<a href="mailto:mgl-yhb@163.com">mgl-yhb@163.com</a></div> <div class="postmsg">楼主你好，我们正准备给自己的国产镀膜机加装一个离子原，正在找着方面的资料，能否给我一份，顺便给点建议<br /> <a href="mailto:666wangting@sohu.com">666wangting@sohu.com</a><br /> 谢谢</div> <div class="postmsg">我原来的车间就有一个霍尔离子源,现在不用了!!!</div> <div class="postmsg">拜托,能给我一份吗,我也箱了解了解!谢谢!!!M:zuochangyongking@yahoo.com.cn<img src="static/image/smiley/default/em17.gif" smilieid="46" border="0" alt="" /></div> <div class="postmsg">什么样的离子源发热少呀，通过 水冷的也行，</div> <div class="postmsg">楼主现在不常来了吗？很需要这方面的资料啊，希望能够尽快得到您的回复啊。<a href="mailto:leeloocong@126.com">leeloocong@126.com</a></div> <div class="postmsg">学习，谢谢楼主，请发一份到<a href="mailto:zstang@gmail.com">zstang@gmail.com</a>.</div> <div class="postmsg">以上各位朋友，资料已发出去，请察看邮箱，谢谢！</div> <div class="postmsg">谢谢楼主，请发我一份资料 <a href="mailto:yankoviky@yeah.net">yankoviky@yeah.net</a></div> <div class="postmsg">请楼主发到<a href="mailto:wo07102329zhang@163.com">wo07102329zhang@163.com</a> 谢谢！</div> <div class="postmsg">有离子源电路方面的资料吗，发给我一份，我都找了好久。</div> <div class="postmsg">楼主，你好，我们公司就是用莱宝APS1104光学镀膜机，由于机器老化程度比较严重，离子源方面问题比大，老是不稳定，由于我是刚毕业的，刚入此行，对很多东西都是迷迷糊糊的，刚才看过你的帖子，以我现在的水平，感觉还是有点受益，希望能有机会向你请教一下。<br /> 若有时间麻烦你也发一份离子源方面的资料让我学习一下。<a href="mailto:chenshubin19@163.com">chenshubin19@163.com</a> 谢谢</div> <div class="postmsg">楼主，能给我一份资料吗？我的邮箱是<a href="mailto:bree@siom.ac.cn">bree@siom.ac.cn</a> 谢谢</div> <div class="postmsg">楼主，你现在还上这来吗？能给我一份资料吗？我的邮箱是<a href="mailto:19378408@qq.com">19378408@qq.com</a>，谢谢</div> <div class="postmsg">楼主.急需离子原资料.我是霍尔源 <a href="mailto:WM2371@YAHOO.COM.CN">WM2371@YAHOO.COM.CN</a>.多谢!</div> <div class="postmsg">我公司专门研发生产霍尔离子源,国内用户反应效果良好,质量和稳定性极高,希望大家又需要可以联系13693572892,<a href="mailto:pmtek_lxl@163.com">pmtek_lxl@163.com</a></div> <div class="postmsg"><div class="quote"><blockquote><font size="2"><font color="#999999">nanovac2 发表于 2007-10-12 07:42</font> <a href="http://forum.oecr.com/forum.php?mod=redirect&goto=findpost&pid=382225&ptid=60434" target="_blank"><img id="aimg_T0k0q" onclick="zoom(this, this.src, 0, 0, 0)" class="zoom" src="static/image/common/back.gif" onmouseover="img_onmouseoverfunc(this)" onload="thumbImg(this)" border="0" alt="" /></a></font><br /> 如果有朋友需要离子源方面资料请留下Email地址，我会发过去。</blockquote></div><br /> 可以的话发一份离子源的资料给我多谢<a href="mailto:754491463@qq.com">754491463@qq.com</a></div> <div style="height200px;"></div> </div> </div> </div> </div></div> </div> <!--autocomment filter by maxnum--> <div class="ft_wp"> <div id="ft" class=" cl"> <div id="flk" > <p> <a href="http://wpa.qq.com/msgrd?V=3&Uin=20600600&Site=光电工程师社区&Menu=yes&from=discuz" target="_blank" title="QQ"><img src="static/image/common/site_qq.jpg" alt="QQ" /></a><span class="pipe">|</span><a href="http://m.oecr.com" >手机版</a><span class="pipe">|</span><a href="http://so.oecr.com" title="站内搜索" target="_blank" >搜索</a><span class="pipe">|</span><a href="http://www.focaloptics.com" title="主办单位：武汉焦点光学技术有限公司" target="_blank" >焦点光学</a><span class="pipe">|</span><a href="http://www.oecr.com" target="_blank">光电工程师社区</a> ( <a href="http://beian.miit.gov.cn/" target="_blank">鄂ICP备17021725号-1</a> <a href="http://www.beian.gov.cn/portal/registerSystemInfo?recordcode=42011102000821" 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